海外規格適合FFU

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海外の規格、CEマーキングやSEMI規格、UL対応品を取り揃えました。 海外向けの製造装置などへの搭載が出来ます。


製品のポイント

 

  • EMC試験(CEマーキング)対応、SEMI規格、UL準拠FFUです。
  • フリー電源(AC100V~240V単相)ですので、電源対応が容易です。
  • DCブラシレスモーターの採用により、省電力化を図りました。
  • 風量は、5、10、15m³/minです。

 

規格・仕様について

形式
MAC-ⅡA-50EMC-PTFE
集塵効率
0.1~0.2μm粒子(シリカ)にて99.9999%以上
集塵要素
メインフィルタ:PTFEフィルター
風量
約5m³/min (ボリューム3目盛にて)
構造
SUS430
重量
約11kg
電源
AC100~240V 1φ 50/60Hz
消費電力
約35W
その他
吹出口周囲取付EPDMパッキン付属
形式
MAC-ⅡA-100EMC-PTFE
集塵効率
0.1~0.2μm粒子(シリカ)にて99.9999%以上
集塵要素
メインフィルタ:PTFEフィルター
風量
約10m³/min(ボリューム6目盛にて)
構造
SUS430
重量
約14kg
電源
AC100~240V 1φ 50/60Hz
消費電力
約80W
その他
吹出口周囲取付EPDMパッキン付属
形式
MAC-ⅡA-150EMC-PTFE
集塵効率
0.1~0.2μm粒子(シリカ)にて99.9999%以上
集塵要素
メインフィルタ:PTFEフィルター
風量
約15m³/min(ボリューム7目盛にて)
構造
SUS430
重量
約22kg
電源
AC100~240V 1φ 50/60Hz
消費電力
約175W
その他
吹出口周囲取付EPDMパッキン付属