クリーンストックシステム

70

レチクルやマスクを補完するシステムです。全自動型と手動型があります。設置場所や収納枚数などにより、設計できます。内部は、専用クリーンユニットを配し、清浄度クラス1~100に維持されます。


製品のポイント

  • 自動入手庫型と手動型があります。
  • レチクルやマスクの収容枚数に合わせて設計されます。
  • 内部は、クリーンユニットで清浄化されます。
  • 清浄度クラスは、ISOクラス3~5(クラス1~100)に維持されます。

規格・仕様について

形式
RSK-□ □ □ □- □ □
清浄度
レチクル保管部:ISO3(クラス1)
レチクル移動部:ISO4(クラス10)
集塵効率
0.3μm粒子(大気塵)にて99.99%以上
集塵要素
メインフィルター:ULPAフィルター
処理風量
160m³/min
吹出風速
約0.2m/sec ~0.4m/sec
電源
AC200V 3φ 50/60Hz
入出可能ワーク
キヤノン、ニコン6inchレチクルケース兼用
最大保管数
1036枚
移動機構
スカラロボット型4j軸同時補間サーボシステム
入出庫口
各5ヶ所(同時入出庫可能)
構造
本体:鋼板製焼付塗装
保管棚板:アルミニウム(アルマイト仕上げ)
保管棚:デルリン樹脂成型品