ULPAフィルターとHEPAフィルターはクリーンルームの空気濾過するシステムにおいて使用される製品です。基本的にULPAフィルターとHEPAフィルターは0,12 – 0,3µmの粒子にて効率が99,995% – 99,99999%を達しています。ULPAフィルターはHEPAフィルターより0,3µm粒子にて効率が99,99%の優秀に達しています
