海外の規格、CEマーキングやSEMI規格、UL対応品を取り揃えました。
海外向けの製造装置などへの搭載が出来ます。
| 形式 |
MAC-ⅡA-50EMC-PTFE
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|---|---|
| 集塵効率 |
0.1～0.2μm粒子(シリカ)にて99.9999％以上
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| 集塵要素 |
メインフィルタ：PTFEフィルター
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| 風量 |
約5m³/min （ボリューム3目盛にて）
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| 構造 |
SUS430
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| 重量 |
約11kg
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| 電源 |
AC100～240V 1φ 50/60Hz
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| 消費電力 |
約35W
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| その他 |
吹出口周囲取付EPDMパッキン付属
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| 形式 |
MAC-ⅡA-100EMC-PTFE
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|---|---|
| 集塵効率 |
0.1～0.2μm粒子(シリカ)にて99.9999％以上
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| 集塵要素 |
メインフィルタ：PTFEフィルター
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| 風量 |
約10m³/min（ボリューム6目盛にて）
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| 構造 |
SUS430
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| 重量 |
約14kg
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| 電源 |
AC100～240V 1φ 50/60Hz
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| 消費電力 |
約80W
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| その他 |
吹出口周囲取付EPDMパッキン付属
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| 形式 |
MAC-ⅡA-150EMC-PTFE
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|---|---|
| 集塵効率 |
0.1～0.2μm粒子(シリカ)にて99.9999％以上
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| 集塵要素 |
メインフィルタ：PTFEフィルター
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| 風量 |
約15m³/min（ボリューム7目盛にて）
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| 構造 |
SUS430
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| 重量 |
約22kg
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| 電源 |
AC100～240V 1φ 50/60Hz
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| 消費電力 |
約175W
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| その他 |
吹出口周囲取付EPDMパッキン付属
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