粒子状物質の除去に加え、ガス状物質の除去も行います。アウトガス発生を抑えた、ボロンフリーULPAフィルター、ケミカルフィルターを搭載しています。対象ガスにより、ケミカルフィルターを選定します。
粒子状物質の除去に加え、ガス状物質の除去も行います。アウトガス発生を抑えた、ボロンフリーULPAフィルター、ケミカルフィルターを搭載しています。対象ガスにより、ケミカルフィルターを選定します。
| 形式 |
CHEMI-MAC-32 / CHEMI-MAC-51 / CHEMI-MAC-101
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|---|---|
| 集塵効率 |
0.1μm粒子(シリカ)にて99.9995%以上
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| 集塵要素 |
メインフィルター：PTFEフィルター(ULPA)
ケミカルフィルター：イオン交換繊維フィルター |
| 処理風量(m³/min ) |
約3 / 約5 / 約10
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| 吹出風速(ｍ/sec) |
約0.49 / 約0.47 / 約0.51
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| 電源 |
AC100V 1Φ 50/60Hz
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| 消費電力(W) |
30/37 / 44/46 / 102/119
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| 重量(kg) |
約15 / 約20 / 約20
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| 構造(本体) |
SUS304
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| 付属品 |
本体固定アングル×2、吹出口取付用パッキン×1、スピードコントローラー、タイムカウンター
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CÔNG TY CỔ PHẦN AIRTECH THẾ LONG
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