온도 제어 클린룸

 C형（포위형）

길이를 측정하기 위해 적합한 기계이다. 환풍기, HEPA 필터, 습도 제어 장치 내부에 설치된 에어컨 및 작업챔버로 구성된다. 챔버에는 자동 셔터 (전기, 기압), 유지 보수를 위한 문, 실내 장비의 작동 확인을 위한 창문을 설치할 수 있다. HEPA 필터가 천장에 설치된 수직 기류층 및 HEPA 필터가 수평으로 배열된 수평 기류층이 있다. 

B 형（개방형）

 투사 각도를 조정하는 데 사용한다.

수직 층류 캐비닛의 뒷면에 있는 온도 제어기를 포함하여 에어컨이 부착된 개방형 기계이다.

설치 면적이 작고 작은 바퀴를 설치하므로 쉽게 움직일 수있고 취급이 용이하다. 

 S 형（분리형）

처리 풍량이 50m / min 미만이며 회로 차단기가 설치된 소형 기계이다.

작업 공간 (챔버)에서 에어컨 분리기의 사용, 덕트 방식으로 소음, 진동, 전자기 탭을 차단할 수 있다. 또한 장치는 4면 ( 앞면, 2개의 엎면, 뒷면 )에서 실내에서 작동 할 수 있다.

흡입구와 작업 영역의 덕트를 연결하는 순환 방법이 있는 기계도 있다.

주요 응용

반도체 제조

교정, 전기 퓨즈를 제거하는 장치, 빛에 감염된 광학 압축 장치

디스플레이 보드 제조

액정 보드, Plasma Display, FED

초정밀 가공

CD-R ・ DVD-R 용 기계대패, 경면 연마기, 레이저 가공기, 전자기 헤드 절단기, 정밀 렌즈 연마기

정밀 측정기

정밀 길이 측정기, 2 차원, 3 차원의 길이 측정기

Biological

온도, 습도의 변환에 적합하지 않는 샘플도 처리한다.

정밀 현미경