클린룸 건설은 요구된 청정도에 따라 클린룸에서 수행한 작업을 기반으로 산정, 설계, 시공된다.
클린룸은 산업에 사용되는 클린룸에서 생물학에 사용되는 클린룸까지의 청소 용이성, 클린룸에서 수행되는 작업, 명도, 벽.바닥 등의 재료에 따라 설계되었다.
포집 효율 |
0.1µm의 먼지입자에 대해 99.9995%이상 |
필터 |
주요필터: ULPA필터, Pre 필터: 부직포 필터 |
청정도 |
ISO Class 3~4 (Class 1~10) |
풍속 |
작업 구역: 0.3m/s, 통로: 0.2 m/s |
전원 |
AC200V 3Φ 50/60Hz |
명도 |
700 Lux ( 조명간격từ 1m) |
소음 |
65 dBA이하 |
구조 |
기둥; 서까래 : 앵글 강관 시트 ( 지지 방법 : 자체 받침) 바닥 : 사이즈 600으로 알루미늄으로 주조된다. 외면에는 에폭시 코팅되고, 악세스플로어 H = 200 mm 벽판 : 다중 |
팬 |
0.75W×6P 2 축 타입의 Sirocco팬 |