클린 룸 표준

국제 표준기구(International Standards Organization – ISO)는 국제 표준 클린 룸의 표준을 결정했다. 첫째 표준은 먼지 함량이다. 즉, 공기 안의 먼지 함량이 얼마나 제오되는 지의 표준이다( 당연히 붙은 먼지는 반드시 청소해야 한다). 상징적으로 비교하면 사람의 모발 직경이 약 100μm이며, 방의 먼지가 0.5 ~ 50μm의 직경을 가질 수 있다.

✔ 1990년에 발행된 ISO 14644-1 표준이 ‘공기 청정도 분류’ (Classification of Air Cleanliness)라고 한다.  클린 룸 유형은 Cn=10N[0,1D]2,08  식에 따라 규정된다:
– Cn :  공기 안의 부유 먼지의 최대 허용 함량 (입자 수량 / m3로 표시)이며 감안된 크기 만큼 또는 이상이다.
– N은 ISO 분류 지수이며 9를 초과하지 않으며 최소 허용 지수가 0.1이다.
– D 는 μm로 계산된 입자 직경이다.
0,1 는 μm인 차원으로 상수이다

따라서 상기 공식으로  먼지 함량 제한을 쉽게 확인하고  각 클린 룸의 급도를 쉽게 분류할 수 있다.
✔급도8 (1 입방 미터의 공기에서 0.5 미크론 크기의 3,520,000 입자)

컴퓨터 방에 많이 적용된다. 출입을 제한하고  적극적으로 압력을 조정하는 것 외에 특별한 전용 의복 또는 특별한 절차가 필요없다.
✔급도 7 (1 입방 미터의 공기에서 0.5 미크론 크기의 352,000 입자)

병원 수술실에 많이 적용된다. 일부 공장이 이런 클린 룸 수준을 사용하고 있다. 깨끗한 옷, 후드 모자 및 신발을 착용해야 한다. HEPA 필터를 통해 공기가 실내로 유입된다. (높은 입자 축적 효율). 출입을 제한한다. 방은 강한 압력을 사용하고 주변 공간과 관련이 있다.
✔급도 6 (1 입방 미터의 공기에서 0.5 미크론 크기의 35,200 입자).
디스크 또는 컴퓨터 하드웨어 또는 기타 민감한 재료를 제조하는 공장에 많이 적용된다.  클린 룸 급도 7과 같이 사용할 때 규칙이 있지만 작업자가 클린 룸 옷장의 일부로 장갑과 후드 모자를 착용해야 한다. 방의 공기를 더 자주 바뀐다. 다시 말하면 모든 공기는 HEPA 필터를 통해 지속적으로 여과되며 시간당 공기 변화량이 큰다.
✔급도5 (1 입방 미터의 공기에서 0.5 미크론 크기의 3,520 입자)

컴퓨터 메모리 생산 등 특수 반도체를 사용하는 공장에  많이 적용된다. 약품 제조 기술에도 적용된다. 위와 같은 규칙이지만 더 엄격한다. 이 수준의 클린 룸에 대해 전신 마스크를 사용해야 한다.
✔급도4 또한 더 이상 청정 급도(1 입방 미터의 공기에서 0.5 미크론 크기의 352 이하의 입자)작은 오염이라도 많은 비용이 들게 하는  대형 반도체 제조 구역에서 사용하기에 특히 좋다. 작업자는 완전 클린 룸 옷과 마스크를 착용해야 한다. 작업자가 마스크를 통해 숨을 여과하여 호흡하며 공간에서 오염된 공기의 호흡을 피한다.