クリーンスーツを収納する専用装置です。作業者はクリーンスーツを着用し、作業に当たるため、クリーンスーツは清浄でなければなりません。汚染していたの では、製品に悪影響を与えます。クリーンユニットを装置上面に設置し、内部は清浄度クラス1,000～10,000であり、クリーンスーツを清浄に維持し ます。
クリーンスーツを収納する専用装置です。作業者はクリーンスーツを着用し、作業に当たるため、クリーンスーツは清浄でなければなりません。汚染していたの では、製品に悪影響を与えます。クリーンユニットを装置上面に設置し、内部は清浄度クラス1,000～10,000であり、クリーンスーツを清浄に維持し ます。
| 形式 |
EGS-1001 / EGS-1501
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|---|---|
| 清浄度 |
ISO6(クラス1000)
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| 集塵効率 |
0.3μm粒子（大気塵）にて99.99％以上
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| 集塵要素 |
メインフィルター：HEPAフィルター
プレフィルター：不織布フィルター |
| 処理風量(m³/min) |
約2.0 / 約3.0
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| フィルターユニット |
MAC-15×2 / MAC-15×3
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| 電源 |
AC100V 1φ 50/60HzまたはDC24V
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| 消費電力(W) |
約26 / 約39
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| 重量(kg) |
24 / 32
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| 外形寸法 |
W1000×D570×H2080mm / W1500×D570×H2080mm
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| 構造 |
フレーム：樹脂コーティングパイプ、周囲：帯電防止ビニールカーテン
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| 形式 |
SS-GS-1000 / SS-GS-1500
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|---|---|
| 清浄度 |
ISO7(クラス10000)
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| 集塵効率 |
0.3μm粒子（大気塵）にて99.99％以上
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| 集塵要素 |
メインフィルター：HEPAフィルター
プレフィルター：不織布フィルター |
| 処理風量(m³/min) |
約3.0[3.5]
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| フィルターユニット |
MAC-ⅡA-30
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| 電源 |
AC100V 1φ 50/60Hz
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| 消費電力(W) |
28[36]
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| 重量(kg) |
約55 / 約64
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| 外形寸法 |
W1000×D660×H2115mm / W1500×D660×H2115mm
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| 構造 |
天井・棚板・フレーム：SUS304、周囲：帯電防止ビニールカーテン
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| *[ ]内は60Hz時です。 |
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