クリーン保管庫

物品をクリーンに保管できます。収納する物品に合わせた設計が可能です。自立型、卓上型、N2ガス注入型などがあります。また、自動入出庫を行う機種もあります。

 

  • 収納する物品に合わせて設計されます。
  • レチクルなどの自動入出庫が出来る装置も取り揃えています。
  • N2ガス注入やケミカルフリー型なども設計します。

 

形式
AWL-750-5
集塵効率
0.3μm粒子(大気塵)にて99.99%以上
集塵要素
メインフィルター:HEPAフィルター
プレフィルター:不織布フィルター
換気フィルター:中性能フィルター
処理風量
約14m³/min
吹出風速
約0.33m/sec
電源
AC100V 1φ 50/60Hz
消費電力
約150VA
重量
約165kg
外形寸法
W750×D950×H1620mm
形式
TCS-640F (オールフレッシュ型) /  TCS-640R (リサイクル型)
集塵効率
0.3μm粒子(大気塵)にて99.99%以上
集塵要素
メインフィルター:HEPAフィルター
プレフィルター:不織布フィルター
処理風量(m³/min)
約6.0 / 約4.5
吹出風速(m/sec)
約0.35 / 約0.2
電源
AC100V 1φ 50/60Hz
消費電力(VA)
約80 / 約60
外形寸法
W640×D650×H980mm

 

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