ケミカルMAC(ケミカル対応)

粒子状物質の除去に加え、ガス状物質の除去も行います。アウトガス発生を抑えた、ボロンフリーULPAフィルター、ケミカルフィルターを搭載しています。対象ガスにより、ケミカルフィルターを選定します。

 

  • ボロンフリーULPAフィルターとケミカルフィルターを搭載しました。
  • ケミカルフィルターは、酸性ガス用、アルカリ性ガス用、塩基性ガス用、有機物用などから、1種、または複数のフィルターを選択します。
形式
CHEMI-MAC-32 / CHEMI-MAC-51 / CHEMI-MAC-101
集塵効率
0.1μm粒子(シリカ)にて99.9995%以上
集塵要素
メインフィルター:PTFEフィルター(ULPA)
ケミカルフィルター:イオン交換繊維フィルター
処理風量(m³/min )
約3 / 約5 / 約10
吹出風速(m/sec)
約0.49 / 約0.47 / 約0.51
電源
AC100V 1Φ 50/60Hz
消費電力(W)
30/37 / 44/46 / 102/119
重量(kg)
約15 / 約20 / 約20
構造(本体)
SUS304
付属品
本体固定アングル×2、吹出口取付用パッキン×1、スピードコントローラー、タイムカウンター

 

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