レチクルやマスクを補完するシステムです。全自動型と手動型があります。設置場所や収納枚数などにより、設計できます。内部は、専用クリーンユニットを配し、清浄度クラス１～100に維持されます。
レチクルやマスクを補完するシステムです。全自動型と手動型があります。設置場所や収納枚数などにより、設計できます。内部は、専用クリーンユニットを配し、清浄度クラス１～100に維持されます。
| 形式 |
RSK-□ □ □ □- □ □
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|---|---|
| 清浄度 |
レチクル保管部：ISO3(クラス1)
レチクル移動部：ISO4(クラス10) |
| 集塵効率 |
0.3μm粒子（大気塵）にて99.99％以上
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| 集塵要素 |
メインフィルター：ULPAフィルター
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| 処理風量 |
160m³/min
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| 吹出風速 |
約0.2m/sec ～0.4m/sec
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| 電源 |
AC200V 3φ 50/60Hz
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| 入出可能ワーク |
キヤノン、ニコン6inchレチクルケース兼用
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| 最大保管数 |
1036枚
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| 移動機構 |
スカラロボット型4j軸同時補間サーボシステム
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| 入出庫口 |
各5ヶ所(同時入出庫可能)
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| 構造 |
本体：鋼板製焼付塗装
保管棚板：アルミニウム(アルマイト仕上げ) 保管棚：デルリン樹脂成型品 |
CÔNG TY CỔ PHẦN AIRTECH THẾ LONG
Trụ sở: Số 144, phố Việt Hưng, Tổ 3, P.Việt Hưng, Tp.Hà Nội
Nhà máy 1: Lô đất IN9.4, đường số 1, khu công nghiệp Cẩm Điền – Lương Điền, xã Cẩm Điền, thành phố Hải Phòng
Nhà máy 2: E5/34A, Đường Liên Ấp 5.6, xã Vĩnh Lộc, thành phố Hồ Chí Minh
